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產(chǎn)品名稱(chēng)
智能型連續進(jìn)出料CVD設備 BTF-1200C-III-3D-CVD-D210
所屬分類(lèi)
工藝定制CVD系統
零售價(jià)
0.00
數量
-
+
庫存
0
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產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數
1、進(jìn)料腔：
進(jìn)料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封；進(jìn)料腔左側法蘭上配有一個(gè)φ16mm的推料桿，可以實(shí)現真空或惰性氣體保護下推送載具進(jìn)入高溫爐內；進(jìn)料腔右側法蘭通過(guò)氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實(shí)現進(jìn)料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。
2、高溫生長(cháng)爐：
大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱，最高使用溫度可達1100℃，加熱區長(cháng)度為300+300+300mm，采用3段控溫且每段上下兩點(diǎn)控溫的方式，可有效提高溫差均勻性；同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。
???????3、出料腔：
出料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封，出料腔右側法蘭上配有一個(gè)φ16mm的拉料桿，可以實(shí)現真空或惰性氣體保護下從高溫爐內將載具拉入出料腔內降溫冷卻；出料腔左側法蘭通過(guò)氣動(dòng)插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實(shí)現出料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。
???????4、推拉機構：
進(jìn)料腔左側密封法蘭上配有推料桿及軌道；出料腔右側密封法蘭上配有拉料桿及軌道；可以實(shí)現真空或惰性氣體保護下將載具推送進(jìn)高溫爐或將載具拉離高溫爐。
???????5、供氣系統：
供氣系統包含3部分，進(jìn)料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置，高溫生長(cháng)爐配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體混氣裝置，出料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置；共計5路質(zhì)量流量計。
???????6、真空系統：
進(jìn)料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16），高溫生長(cháng)爐1套機械泵（機械泵抽速24m3/h、型號DRV-24），出料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16），以及真空計、手動(dòng)擋板閥、波紋管等連接件共計3套。
???????7、觸摸屏控制系統：
采用觸摸屏自動(dòng)控制，參數設置和操作直觀(guān)方便，參數自動(dòng)記錄保持，一鍵操作。
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額定功率 |
18KW |
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額定電壓 |
AC380V 三相五線(xiàn)制進(jìn)線(xiàn)開(kāi)關(guān)3P40A |
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最高溫度 |
800℃ |
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持續工作溫度 |
≤800℃ |
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推薦升溫速率 |
≤10℃/min |
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加熱區尺寸 |
150+300+150mm |
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控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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加熱元件 |
電阻絲 |
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控溫 |
K型熱電偶 |
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冷卻水配置 |
水流量≥6L/min |
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氣源配置 |
氣缸動(dòng)力氣 0.45~0.6Mpa ≥300L/min；工藝氣體0.1~0.3Mpa |
|
爐體尺寸 |
爐體：6150*860*1900mm |
|
設備凈重 |
850KG |
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫未實(shí)現,敬請期待
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